气体质量流量计和气体质量流量控制器结构介绍

发布于 2020年03月20日

[摘要]气体质量流量计和气体质量流量控制器结构介绍气体质量流量计含流量传感器、分流器通道和流量放大、线性化及温度补偿电路组成。新疆流量计生产厂家表示增加电磁阀和PID控制电路就构成了流量控制器。

    气体质量流量计和气体质量流量控制器结构介绍
    气体质量流量计含流量传感器、分流器通道和流量放大、线性化及温度补偿电路组成。表示增加电磁阀和PID控制电路就构成了流量控制器。
    MFC和MFM可广泛地应用于石油化工、半导体和集成电路、特种材料学科、医药、环保和真空等多种领域的科学研究和生产中，其典型应用有：电子工艺设备，如氧化、CVD、扩散、外延、等离子蚀刻、离子注入和溅射，以及微反应装置、配气和混气系统、镀膜设备、光纤熔炼、气相色谱仪以及其它分析仪器。
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