[摘要]电子束作为髙密度能量的热源很早就得到重视。1949年，德国首次利用电子束在0. 5 mm厚的不锈钢板上加工出直径为0. 2 mm的小孔。1957年法国原子能委员会萨克莱核子研 究中心研制成功世界上第一台用于生产的电子束焊接机，其优良的焊接质量引起人们广泛重 视。随后世界各国相继开展电子束加工技术的研究，不断研制出各种新型电子束加工设备。
电子束加工技术
电子束作为髙密度能量的热源很早就得到重视。1949年，德国首次利用电子束在0. 5 mm厚的不锈钢板上加工出直径为0. 2 mm的小孔。1957年法国原子能委员会萨克莱核子研 究中心研制成功世界上第一台用于生产的电子束焊接机，其优良的焊接质量引起人们广泛重 视。随后世界各国相继开展电子束加工技术的研究，不断研制出各种新型电子束加工设备。 20世纪60年代初期巳经成功地将电子束打孔、铣切、焊接、镀膜、熔炼等工艺技术应用到各工 业部门中，促进了尖端技术的发展。微电子学的发展对集成电路元件的集成度要求不断提高， 因而对光刻工艺提出了更高的要求，扫描电子束曝光机研制成功并在20世纪70年代进人市 场，使得制造掩膜或器件所能达到的最小线宽已小于0. 5 ym。
自20世纪60年代初期我国开始研究电子束加工工艺，目前已在仪器仪表、微电子、航空 航天和化纤工业中得到应用。电子束打孔、切槽、焊接、电子束曝光、电子束热处理等都陆续进 人生产。
离子束加工技术
离子束技术的应用涉及物理、化学、生物、材料和信息等许多学科的交叉领域。离子束加 工在许多精密、关键、髙附加值的加工模具等机械零件的生产中得到了广泛应用。许多国家已 将它用于军事装备的建设上，如改善涡轮机主轴承、精密轴承、齿轮、冷冻机阀门和活塞的性 能。离子注人改进人工关节在医学上的应用是另一个典型例子，仅美国每年用这种技术就处 理了十万只人工关节。另外，离子注入半导体掺杂已成为超大规模集成电路微细加工的关键 工艺，并导致出现了 20世纪80年代集成电路产业的腾飞。经过近20年的研究和实践，离子 束加工已广泛地应用于各个领域，尤其是在信息产业领域占有举足轻重的地位。
水射流及磨料流加工技术
水射流加工源于采矿业。随着水射流工作压力的提高，其应用范围逐渐扩展，最终导致超 高压水切割的出现。自1972年世界第一台水切割机在美国诞生以来，超高压水射流切割加工 工艺就一直是水射流行业研究追踪的热点。20世纪80年代末，这种被称为“水刀”的设备完 成了商品化，以机械手控制切割头为代表的产品迅速达到了全自动、智能化的高水平。随着水 射流切割技术的发展，脉冲射流、高温射流、磨料射流、空化射流、气水射流等新技术的出现将 水射流技术推向一个新的阶段,压水射流技术的应用范围也由单纯的采矿扩大到机械、石油、 化工、轻工、航空、建筑、冶金、市政工程和医学等各个领域。