共聚焦显微镜,微表面三维形貌测量技术的应用,激光共聚焦显微镜

NanoFocus μsurf explorer共聚焦显微镜产品采用多孔共聚焦技术，结合CCD的影像摄取，以有许多孔洞的旋转盘取代侦测器的孔洞，再将物镜垂直移动，以类似断层摄影方式，可在短时间(约几秒)内精确量测物体的三维数据。

随着微细加工技术的不断进步和微电路、微光学元件、微机械以及其它各种微表面的不断出现,迫切需要微表面三维形貌测量的相关技术。由于微表面结构是由微观结构单元组成的三维复杂结构，其测量一般都需要借助直接的或间接的显微放大，要求有较高的横向分辨率和纵向分辨率。应用显微干涉法研制了纳米级形貌检测仪，它综合了显微术和干涉法的优点，可以对微表面进行高精度的形貌测量。形貌检测仪在双光束Mirau干涉的基础上，加上相移技术，精度能够达到纳米级。纳米级微形貌检测仪可以应用于静态的微形貌测量，例如测量磁带，硅片的形貌，还可以用来测量光纤通信中的光纤连接器，可以直接用来检测表面的表面质量和缺陷，如果加上频闪技术，还可以进行MEMS形貌等的动态测量。