室内的浮游微粒子浓度，使用高性能的风机盘管即可容易达到零水平，而这种情况保持也是很不易的。比如实际的生产现场由于作业者、机器、周边机械的灰尘及基板运送时所接触的零件材料的灰尘等，在制造品周边扬起了少许的微粒子，因而造成了元件清洁面的粒子污染。除了拥有风机盘管外，室内还需要在怎么做防止微粒子污染呢?
一、在室内避免进入灰尘微粒子的方法有：
1)人进入室内室前，机台、零件携入前应进行清洁处理;灰尘比较大的应该控制，比如说脏衣服，脏设备等。会使得风机吸取很多灰尘;
2)进入室内室者在更衣室要穿着不灰尘、不产生静电的具特殊导电性纤维材质的室内服、帽、鞋、手套、口罩等;
3)通过风淋室时利用高速干净空气除去附在衣服表面的粒子后，才能进入室内室。
4)机器及材料带进室内室前，应尽可能在密封状态下带进室内室前室保养后用超纯水擦拭，经风淋室吹淋后才进入室内室。
5)室内室中须全程穿戴密闭式安全帽及佩戴附有过滤器的排气用小型风机于腰间。
二、在控制大污染源--人在室内的微粒子灰尘量的同时，也应控制第二大污染源—电脑的灰尘量。
因物品在移动时，所产生的摩擦及接触剥离会造成灰尘，而电脑在运作时也会有微粒子的发生。故为了控制灰尘量达到小限度应采取以下对策：
1)减少接触剥离灰尘的动作形态;
2)采用磨耗灰尘小的材质;
3)采用灰尘小的润滑油;
4)电脑平时不用要记得清理。
做好以上几点，搭配高性能的风机就可以保持室内的空气清新，室内的洁净度就可以维持。但现实中要保持好的难，但是想要弄糟却很容易，像人和物品的频繁出入及高层楼的开窗通风，要想完全保持是很难的，换言之在广大的室内要有完全洁净度是不可能的。但是我们可以尽量去避免。
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